显微镜工作台
1.机械手取片
2.多角度可视
3.数据管理（可上传MES系统）
4.目视宏观检测
5.显微镜微观检测
6.不良品拍照功能
7.体积小
8.操作灵活
9.可定制需求
10.适用于SiC衬底、外延、器件生产
11.适用于GaN衬底、外延、器件生产
12.适用于Ga2O3衬底、外延、器件生产
1.机械手取片
2.多角度可视
3.数据管理（可上传MES系统）
4.目视宏观检测
5.显微镜微观检测
6.不良品拍照功能
7.体积小
8.操作灵活
9.可定制需求
10.适用于SiC衬底、外延、器件生产
11.适用于GaN衬底、外延、器件生产
12.适用于Ga2O3衬底、外延、器件生产
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