工作台-Wafer Work Station
工艺制程中利用不断的检验找出问题，分析对策、提高效率、降低成本乃SiC厂最佳的方法。而如何在有效的检验中，不会造成对wafer二次伤害为重中之重为考虑。
瀚积工作台推出的”目视检验工作台”与”显微镜检验工作台”，为目前业界最有效，性价比最高的设备。
1.机械手取片
2.多角度可视
3.数据管理（可上传MES系统）
4.不良片照相功能
5.体积小
6.操作灵活
7.可定制需求
8.应用碳化硅生产
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